世界首個集材料生長、器件制備、測試分析為一體的納米領(lǐng)域大科學(xué)裝置——納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區(qū)建設(shè)。這個實(shí)驗(yàn)站相當(dāng)于在太空建設(shè)了一個全真空的納米器件研發(fā)平臺。

    正在建設(shè)中的這個納米實(shí)驗(yàn)站是目前世界上最大的真空互聯(lián)科研裝置。其總體方案是：用總長近500米的超高真空管道，將上百臺用于材料生長、器件制備、測試分析的大型儀器設(shè)備互聯(lián)，實(shí)現(xiàn)樣品在不同設(shè)備之間傳送時其表面不被氧化、沾污，不被外界大氣環(huán)境所破壞。中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所研究員、納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站常務(wù)副總指揮丁孫安說，實(shí)驗(yàn)站通過超高空間分辨、時間分辨、能量分辨、質(zhì)量分辨等的高端能力儀器設(shè)備，對物質(zhì)的“本征性質(zhì)”進(jìn)行研究，從而實(shí)現(xiàn)量子材料的設(shè)計、制備和表征，后摩爾時代器件加工和測試分析，同時開展新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)和新功能的開發(fā)和研究，以及形成第三代半導(dǎo)體工藝包。

    “這個實(shí)驗(yàn)裝置是在類似太空的全真空環(huán)境下的納米器件研發(fā)平臺，相當(dāng)于把現(xiàn)有的加工設(shè)備統(tǒng)一搬到太空。”丁孫安說。

    納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站是依托中科院蘇州納米所，聯(lián)合清華大學(xué)薛其坤院士團(tuán)隊(duì)、中科院大連化學(xué)物理研究所包信和院士團(tuán)隊(duì)建設(shè)的。一期建設(shè)由中科院、江蘇省、蘇州市和蘇州工業(yè)園區(qū)共建，預(yù)計2018年建成，建設(shè)經(jīng)費(fèi)3.2億元。一期建成后將連接30多臺設(shè)備，形成100米的真空管道。整個實(shí)驗(yàn)站的總預(yù)算是15億元。

    蘇州工業(yè)園區(qū)是全球納米領(lǐng)域具有代表性的八大產(chǎn)業(yè)區(qū)域之一。中科院納米所所長楊輝說，在此建設(shè)納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站，是力圖通過真空條件下的互聯(lián)集成和若干重大項(xiàng)目驗(yàn)證，突破現(xiàn)有儀器設(shè)備的功能限制，實(shí)現(xiàn)材料制備、測試分析與微納加工工藝等方面協(xié)同效應(yīng)，為科研和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供先進(jìn)的、開放性的平臺。

    目標(biāo)：

    籌建中的“納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站”包括納米材料生長、器件制備、加工與測試等各功能模塊的真空互聯(lián)裝置及個性化用戶站，計劃形成一個獨(dú)一無二的材料研究與器件研發(fā)環(huán)境，建成國際上首個真空互聯(lián)的納米科技公共實(shí)驗(yàn)平臺，并在5到10年內(nèi)產(chǎn)出一批帶動產(chǎn)業(yè)深刻變革的重大研究成果，吸引和培養(yǎng)一批國際頂尖科研人員和工程技術(shù)人員，形成一批關(guān)鍵的核心技術(shù)、重大產(chǎn)品和尖端科學(xué)裝備。按照目標(biāo)計劃，“納米真空互聯(lián)實(shí)驗(yàn)站”將依托中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所，由中科院與江蘇省、蘇州市共同建設(shè)，首期投入約15億元，建設(shè)規(guī)劃用地約150畝，其中先行啟動“室溫超導(dǎo)和III-V族半導(dǎo)體激光器”、“3D打印”等分項(xiàng)，爭取3年建成。