高性能熱擴(kuò)散鋁化物涂層，包括鉑改性、活性元素改性、硅改性、鉻改性鋁化物涂層等，是先進(jìn)航空發(fā)動(dòng)機(jī)及燃?xì)廨啓C(jī)渦輪葉片高溫腐蝕防護(hù)的主要方法之一。然而，在傳統(tǒng)的粉末包埋、料漿擴(kuò)散和氣相熱擴(kuò)散鋁化物涂層制備技術(shù)中，存在著涂層有害元素?fù)诫s和有毒氣體釋放的頑疾。為了解決有害元素?fù)诫s影響涂層性能的問(wèn)題，國(guó)外開(kāi)發(fā)了化學(xué)氣相沉積鋁化物制備技術(shù)。然而在化學(xué)氣相沉積中采用的三氯化鋁等先驅(qū)體，具有很強(qiáng)的腐蝕性，不僅導(dǎo)致設(shè)備壽命短，而且污染環(huán)境。

    針對(duì)上述兩個(gè)問(wèn)題，金屬所高溫防護(hù)涂層課題組沈明禮副研究員等近期研發(fā)出顛覆傳統(tǒng)的“綠色”滲鋁技術(shù)，使先進(jìn)鋁化物涂層制備達(dá)到像真空鍍膜一樣的無(wú)毒氣排放、無(wú)有害元素?fù)诫s要求，涂層抗氧化性能優(yōu)越于普通的鋁化物涂層。“綠色”滲鋁技術(shù)，基于真空高密度鋁等離子體輻照效應(yīng)，通過(guò)高密度鋁離子的沉積、注入、濺射和輻照增強(qiáng)擴(kuò)散機(jī)制，可實(shí)現(xiàn)無(wú)有害元素?fù)诫s的高性能鋁化物涂層的高效可控、無(wú)毒氣排放制備。例如，以純鎳為基體，可通過(guò)調(diào)節(jié)等離子體能量分別獲得δ-Ni2Al3和β-NiAl涂層，鋁化物涂層生長(zhǎng)模式近乎線性（圖1），與鍍膜生長(zhǎng)類(lèi)似，明顯不同于傳統(tǒng)熱擴(kuò)散滲鋁涂層的拋物線生長(zhǎng)模式。借助該方法還可獲得亞微米級(jí)超細(xì)晶β-NiAl滲層，這是傳統(tǒng)熱擴(kuò)散滲鋁難以做到的。“綠色”滲鋁涂層抗氧化性能明顯優(yōu)于傳統(tǒng)熱擴(kuò)散滲鋁涂層，以鑄造高溫合金K438G為例，對(duì)比“綠色”滲鋁與傳統(tǒng)包埋法獲得的β-NiAl滲層1000oC氧化行為（圖2），可見(jiàn)“綠色”滲鋁涂層氧化動(dòng)力學(xué)拋物線常數(shù)可降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到PtAl涂層水平。

    該工藝具有以下特點(diǎn)：

    1. 滲鋁在真空中進(jìn)行，采用高純鋁靶材供給鋁等離子體，結(jié)合離子濺射清洗作用，最大限度抑制有害元素在鋁化物涂層內(nèi)夾雜；

    2. 由于輻照增強(qiáng)擴(kuò)散效應(yīng)，鋁化物涂層生長(zhǎng)速率高，并且生長(zhǎng)速率和厚度可通過(guò)等離子體密度和能量進(jìn)行靈活調(diào)控，生長(zhǎng)速率5-50 ?m/h可調(diào)；

    3. 可在多孔葉片高效制備鋁化物涂層，而不會(huì)發(fā)生像粉末包埋法導(dǎo)致粉末堵孔的現(xiàn)象；

    4. 可通過(guò)改變靶材成分，制備出稀土及多元素改性鋁化物涂層；

    5. 滲層生長(zhǎng)速率滿足線性模式，利于控制厚度，便于滿足工程化應(yīng)用的批次穩(wěn)定性要求；

    6. 易于局部制備滲鋁層，如渦輪葉片僅需在葉身制備滲鋁層，往往在葉根和葉尖要避免滲鋁，通過(guò)對(duì)葉根和葉尖簡(jiǎn)單遮擋可僅針對(duì)葉身進(jìn)行滲鋁（圖3）；

    7. 制備工藝綠色環(huán)保，不存在毒性氣體釋放問(wèn)題，符合《中國(guó)制造2025》規(guī)劃綱要提出的制造業(yè)高端化、綠色化發(fā)展思路。

    值得一提的是所研發(fā)的等離子輻照滲鋁技術(shù)裝備完全為自主設(shè)計(jì)研發(fā)，金屬所具備完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，已申報(bào)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利，為高溫合金葉片滲鋁工藝升級(jí)換代提供了保障和基礎(chǔ)，相關(guān)機(jī)理研究已公開(kāi)發(fā)表在Scientific Reports（6,26535（2016），doi:10.1038/srep26535）。研究工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金（51301185）、973（2012CB625100）和863（2012AA03A512）的資助。

    （a）等離子輻照“綠色”滲鋁示意圖及純鎳上獲得的（b-i,b-ii） δ-Ni2Al3和（b-iii,b-iv）β-NiAl滲層，（c） XRD譜，（d） 涂層元素分布及（d） 生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)

    鑄造高溫合金K438G“綠色”滲鋁和傳統(tǒng)包埋滲鋁涂層1000 oC高溫氧化行為：（a）氧化動(dòng)力學(xué)曲線，（b）氧化500 h后的XRD譜，（c）氧化動(dòng)力學(xué)常數(shù)，（d）“綠色”滲鋁層及（e）粉末包埋滲鋁層氧化500 h后的截面照片

    經(jīng)“綠色”滲鋁處理的高溫合金葉片，有涂層的葉身部分呈玫瑰色，無(wú)涂層的榫頭和葉尖部位呈金屬本色。

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